行星齒輪傳動裝置的重量通常與齒輪的重量成比例，并且齒輪的重量與其材料和熱處理硬度密切相關。例如，在相同的功率下，滲碳和淬火齒輪的重量將是淬火和淬火齒輪的約1/3。因此，根據行星齒輪減速器的結構特性和齒輪的負載性能，應廣泛使用硬齒輪。有許多熱處理方法來獲得硬化齒輪，例如表面淬火，整體淬火，滲碳淬火，氮化等，應根據行星齒輪減速器的特性選擇。
1.表面淬火
有兩種常見的表面淬火方法：高頻淬火（用于小尺寸齒輪）和火焰淬火（用于大尺寸齒輪）。當硬化層的表面淬火層包括齒根的底部時，其效果很好。表面淬火的普通材料是碳含量約0.35％?0.5％，牙齒表面硬度可達45?55Hrc。
2.滲碳淬火
滲碳和淬火齒輪具有相對較大的承載力，但必須使用整理過程（齒輪磨削）來消除熱處理變形以確保精確度。
滲碳和淬火齒輪通常由合金鋼制成，滲碳前的碳含量為0.2％?0.3％，牙齒表面硬度通常在58?62Hrc的范圍內。如果它低于57Hrc，則齒面強度顯著降低，如果它高于62Hrc，則脆性增加。牙齒中心的硬度通常為310?330hbw。滲碳和淬火齒輪的硬度應從齒輪齒表面到深層逐漸減少，而有效的滲碳深度被指定為從表面到深層的深度，并且有效的滲碳深度被指定為深度從表面到硬度為52.5HRC。
滲碳和淬火對齒輪齒彎曲疲勞強度的影響不僅可以提高核心硬度，而且還位于表面上的殘余壓縮應力，這可以降低齒輪齒的大拉伸應力區(qū)域中的應力。因此，齒根不能在牙齒磨削過程中研磨，并且在齒輪滾動期間應使用磨削余量的滾刀。
3.氮化
氮化可確保在小變形的條件下保持高齒面硬度，無需完成熱處理后，軸承能力得到改善。對于不容易研磨牙齒的內部齒輪，這具有重要意義。
4.嚙合齒輪的硬度組合
當大型和小齒輪都具有柔軟的齒表面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。當兩個輪子都具有硬齒表面和高硬度時，兩個輪子的硬度相同。
良好的行星齒輪減速器材料的選擇有利于提高齒輪減速器的承載力和使用壽命。